Новостной портал

В 2016 году так именуемая EUV-литография — система проекции для изготовления полупроводников с применением излучения с шириной волны 13,5 hm — добилась платной зрелости. Изготовлением литографских EUV-сканеров занимается голландская организация ASML. На данный момент ASML установила заказчикам 14 квалифицированных EUV-сканеров и обладает заказами на производство 21 новой установки.

Внешний облик типического передового литографского сканера компании ASML для производства чипов

Первыми сканеры EUV-диапазона для платного изготовления полупроводников с общепризнанными мерками 7 hm начнёт применять организация «Самсунг» — это произойдёт в 2018 году. В 2019 году торговый выпуск 7-нм чипов на EUV-оборудовании начнёт организация TSMC. Организация GlobalFoundries приступит к платной работы EUV-сканеров в середине 2019 года либо, вероятнее всего, в 2020 году. В компании Intel насчет этого держат безмолвие, однако, согласно слухам, из 21 свежих сканеров ASML абсолютное большинство агрегатов выбрано Intel. Китайцы, что изумительно, также рассчитывают получить первые EUV-сканеры в 2019 году.

Фактически, впечатляет не сам факт принятия сканеров, денежные средства на которые КНР найдёт в любом объёме, но желание китайских изготовителей начать выпуск 7-нм полупроводниковой продукции по прошествии трёх лет — в 2020 либо 2021 году. На данный момент в страну секретно запрещено транслировать техпроцессы с общепризнанными мерками 14 hm. Компании UMC и TSMC, к примеру, едва приобрели разрешение ввести на собственных китайских СП техпроцессы с общепризнанными мерками 28 hm. Все-таки, о проектах установить в КНР EUV-сканеры сообщил глава японского консульства ASML Ким Ён Сун (Young-Sun Kim).

Кремниевая полоса (Фото ASML)

Со слов локального агента ASML, есть контрактённость на поставку EUV-сканеров с одним из китайских лидеров договорного изготовления полупроводников, и есть многократные контакты с фирмами меньше. Так как на производство любой установки уходит около 21 месяца, договоры нужно заключать с значительным упреждением. К слову, ASML не планирует и никоим образом не ущемит китайских клиентов, чтобы давать предпочтение заявкам со стороны североамериканских, тайваньских либо японских организаций. Если японская организация попытается приобрести EUV-сканеры, они будут собраны в период и высланы клиенту без каких-то ремарок.